MEMS应用
紧凑而高功能的MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技术
特点
- 小型化集成高功能
- 以MEMS芯片为首，将专用ASIC、软件算法小型化、高度集成化汇于一体
- 集成电路技术
- MEMS传感器的信号处理、消除干扰等通过专用电路和专用ASIC进行集成处理
- 嵌入式软件技术
- 将信号处理结果及判定的独特算法进行小型程序化
技术详情
智能尺寸
在压力传感器模组中，将专用MEMS芯片和专用ASIC等核心部件高密度化封装，实现高精度和高可靠性。
独特算法*
在振动传感器模组中，将欧姆龙独特的软件算法*集成到MEMS传感器和通用微机中，在相当于5级地震时进行断路输出。有助于减轻地震引起的次生灾害。
*采用与测量地震烈度相关性高的SI值运算算法。2021年8月 本公司调查结果
应用
燃气表
- MEMS压力传感
- 利用燃气表检测管道内压力，利用制造装置检测供气压力等
- MEMS振动传感
- 燃气表的地震检测、电源断路器的地震检测、制造装置等的地震检测
- MEMS非接触式温度传感
- 空调的人体检测、住宅和商业设施的人体检测、冰箱和微波炉中的物体检测
