D6F 系列 MEMS流量传感器(流量、风速)
使用不受温度、压力影响的“质量流量测量” 的气体流量传感器
- 高精度:通过ASIC的线性温度补偿实现±3%RD(25～100% F.S.)
- 高灵敏度:创新的MEMS构造，对微风也能进行检测
- 小 型:采用小等级的MEMS元件，实现产品的小型化
- 提供二种类型：流量、风速。详情请参阅目录。
D6F-01A1-110、D6F-02A1-110、D6F-05N2-000、D6F-01N2-000、D6F-02L2-000：
2025年1月終止接受预订的产品。
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此网页提供了产品规格书。有关详细信息，请参阅产品规格书及其他相关文件。
可以从“型号一览”中确认带有 CAD 数据的型号。
商品目录
操作手册/软件
| 数据类型 | 文件名 | 更新日期 |
|---|---|---|
| 用户手册 | MEMS流量传感器D6F系列用户手册 | |
| 用户手册 | MEMS流量传感器D6F-P用户手册 | |
| 用户手册 | MEMS风量传感器D6F-W/D6F-V用户手册 | |
| 用户手册 | MEMS Flow Sensor D6F-A7D/-AB71D User’s Manual | |
| 用户手册 | MEMS差压传感器 D6F-PH 用户手册 |
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