D6F 系列 MEMS流量传感器(流量、风速)

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使用不受温度、压力影响的“质量流量测量” 的气体流量传感器

  • 高精度:通过ASIC的线性温度补偿实现±3%RD(25~100% F.S.)
  • 高灵敏度:创新的MEMS构造,对微风也能进行检测
  • 小 型:采用小等级的MEMS元件,实现产品的小型化
  • 提供二种类型:流量、风速。详情请参阅目录。

D6F-20A5-000、D6F-30A7-000、D6F-PLG1:
2026年3月終止接受预订的产品。

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Catalog

データ型 ファイル名 Date of update
目录 目录 D6F
选型指南 传感器选型指南

Operation manual / software

データ型 ファイル名 Date of update
用户手册 MEMS流量传感器D6F系列用户手册
用户手册 MEMS流量传感器D6F-P用户手册
用户手册 MEMS风量传感器D6F-W/D6F-V用户手册
用户手册 MEMS Flow Sensor D6F-A7D/-AB71D User’s Manual
用户手册 MEMS差压传感器 D6F-PH 用户手册

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