
D6F 系列 MEMS流量传感器(流量、风速)

使用不受温度、压力影响的“质量流量测量” 的气体流量传感器
- 高精度:通过ASIC的线性温度补偿实现±3%RD(25~100% F.S.)
- 高灵敏度:创新的MEMS构造,对微风也能进行检测
- 小 型:采用小等级的MEMS元件,实现产品的小型化
- 提供二种类型:流量、风速。详情请参阅目录。
D6F-20A5-000、D6F-30A7-000、D6F-PLG1:
2026年3月終止接受预订的产品。
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This web page provides an excerpt from a datasheet. Refer to Product Datasheet and other applicable documents for more information. Models for which CAD data is available can be checked from the "Model list".
Catalog
Operation manual / software
データ型 | ファイル名 | Date of update |
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用户手册 | MEMS流量传感器D6F系列用户手册 | |
用户手册 | MEMS流量传感器D6F-P用户手册 | |
用户手册 | MEMS风量传感器D6F-W/D6F-V用户手册 | |
用户手册 | MEMS Flow Sensor D6F-A7D/-AB71D User’s Manual | |
用户手册 | MEMS差压传感器 D6F-PH 用户手册 |
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